0.6纳米光刻机中国造来了！什么3纳米1纳米都不是事，我们0.6纳米首台国产商业化电子束光刻机研发成功
据杭州经信官微消息，近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯：首台国产商业化电子束光刻机已在客户现场进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。据悉，依托省重点实验室，研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式走向市场。团队负责人...
